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2014年03月12日
工学研究科の堺廣治さんが応用物理学会九州支部学術講演会−支部設立60周年記念大会―において発表奨励賞を受賞
| 2013年11月30日−12月1日に長崎大学文教キャンパスで開催された平成25年度応用物理学会九州支部学術講演会−支部設立60周年記念大会―において、工学研究科 博士前期課程 総合工学専攻 電気電子工学コース1年の堺 廣治さんが発表奨励賞を受賞しました。講演題目、共著者は下記の通りです。 【講演題目】ミニマルファブ用磁化マイクロ波プラズマの高効率生成 【共著者】：堺 廣治、篠原正典、藤山 寛 【講演概要】 少量多品種の半導体チップを製造する新たな半導体生産システムとして「ミニマルファブ構想」が提唱されている。筆者らは、ミニマル用プラズマプロセスの小型化、低電力化、高速プロセスの実現に向け、永久磁石を用いた小口径ECR系プラズマ源の開発を進めている。本講演では、ソレノイドコイルを用いて磁界配位を変化させ、生成される磁化マイクロ波プラズマの特性を調べた結果を報告した。 |
工学研究科 博士前期課程 総合工学専攻
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